第二百四十四章 光刻失败(1/2)

你斗你的狠，我干我的活。　　丁驰虽然不清楚茵仙等人的具体操作，但也能想象到其与假想敌正斗的不可开交。趁着敌人无瑕多顾之际，正是大干特干加油干的好时候，公司上下干劲十足，仅月余时间进度就非常可观。　　这天一早，焦甄就邀请丁驰和诸葛默然到车间参观。当然了，做为非科研人员，参观只能在外围，只能隔着玻璃。　　虽然同在一个院落，但由于分工不同，加之高精度产品的特殊性，丁驰很少到车间，那样他麻烦，别人也麻烦。今天就为了这个参观，丁驰全身都进行了“武装”白大褂、头套、鞋套、手套，还温习了相关注意事项。　　步入参观走廊，焦甄抬手示意“丁老板、诸葛老，请看，这是制作晶圆程序。晶圆的成分是硅，是由石英沙精练出来的，咱们这是高纯度外晶圆，纯化率达到了八个九。咱们直接购进的硅晶棒，也就省去了前面精练的过程，因此程序第一步就是制作晶圆，把硅晶棒切片。晶圆越薄，出产率越高，生产成本就越低，但对工艺要求就越高。从近几天的操作来看，这道工序非常成功，足见我们的设备和人员都是过硬的。”　　耳边听着讲解，仔细盯着里面的操作，丁驰暗暗点头不错，确实不错。虽然他不够专业，但也绝不外行，毕竟忙活了这么长时间，还在首都奋忠电子厂专门实习过。　　三人接着往前走，又到了下一道工序晶圆涂膜。　　焦甄继续介绍“涂膜就是在晶圆表面涂一层光刻胶，就是郑工现在拿的那个，再把这层胶烘干，之后就会传送到光刻机里面。别看只是涂胶，但讲究非常多，均匀度、密度都有严格要求，这也是影响抗氧化和耐温能力的重要步骤，可以说是差之毫厘，不，差之纳米，谬之千里。”　　“这下一步就轮到光刻了，这里面步骤很多，我们在这里好多看不到。首先要用紫外光照射，不是直接照，是通过光罩和凸透镜照，把晶圆上涂膜照的软化了。之后再”　　焦甄滔滔不绝，满脸喜色，就好似父亲谈论自己的孩子一样，喜爱之情显而易见。　　花了一个多小时时间，焦甄向丁驰和诸葛默然介绍完“孩子”，把二人送出了生产车间。　　“丁老板、诸葛老，今天我们要做第一块光刻电路，各项准备工作非常充分，前期进展也很是顺畅，您二位就等着我们胜利的消息吧。”焦甄信心十足。　　“好，共同期待。”与焦甄握手辞别，丁驰和诸葛默然一同离去，分别回了各自办公室。　　惬意的靠在椅背上，丁驰非常舒心。想想从开始的艰难起步，到现在的设备齐全、进展顺利，真是感慨良多。　　留待以后感慨吧，鼓足干劲，继续前进。想至此，丁驰坐正身体，继续处理着手头工作。　　忙忙碌碌中，一天时间很快过去，丁驰伸了个懒腰，准备去吃晚饭。　　“噔噔噔”，一阵急促脚步声忽然传来。　　紧跟着就是“笃笃”的敲门声。　　“进来。”　　丁驰话音刚落，屋门打开，焦甄快步进来。看到对方神色，丁驰顿有一种不好预感。　　果然，焦甄开口便是“光刻失败了”。　　尽管多少有点失落，但丁驰还是马上道“很正常，哪有一次就成功的。”　　“清洗硅片时，从化学清洗到漂洗再到烘干我都全程盯着，预烘、底胶涂覆、光刻胶涂覆、前烘、对准我也在场，显影、坚膜、刻蚀、离子注入时更是一刻不离，没发现有任何不妥，全是严格按规程和步骤操作呀。可是最终光刻线路结构却出现了偏差，根本达不到要求。”焦甄说到这里，长长打了个唉声“唉丁老板，我这也”　　丁驰连连摆手“没事，没事，再正常不过了，查漏补缺，进一步完善。”　　连着打了几个唉声，焦甄急匆匆离去，查找原因去了。　　正这时，诸葛默然来了，他也听说了光刻失败的事。二人一同奔向食堂，边走边聊。　　诸葛默然抬手一指“刚才老远看见焦甄，从那边急吼吼的走过，头也不抬，显见上火了。这段时间以来，焦甄就跟充了气似的，浑身有用不完的劲，每天都工作十四五个小时，除了睡那几个小时外，几乎就没离开过岗位。这段时间里，整个研发也进展迅速，他的心气更高，这冷不丁的没弄成，心里自然不好受。”　　丁驰点头道“是呀。刚才我劝他莫要着急上火，显然他也没听进去，满脑子都在盘算着工作。等到有时间，您也帮着劝一劝，不要把弦绷的那么紧，否则长时间下去肯定受不了。”　　“看时间吧，稍过几天再说，现在他也听不进去，很可能还会适得其反。”　　说话间，二人进了食堂。　　吃过晚饭，在院子里随便溜达了两圈，丁驰又回到自己屋子，处理起了手头工作。　　晚上十一点多，丁驰正准备休息时，焦甄又来了。　　“我们交叉互换，核查了所有程序，前面的流程没发现任何问题，现在正在进行最后一步核查去除光刻胶。他们正在查操作步骤，也在论证操作方式的合理性。丁老板，你放心，就是连着几夜不睡，也一定要把问题找出来。”焦甄咬着牙道。　　丁驰指着钟表说“马上就十二点了，让大家都休息吧，老这么撑着也不行。还是那句话，首次弄这个，太正常了，没必要耿耿于怀。”　　“睡也睡不着，哪有心思睡我来就是告诉你，我们一定会第一时间查出问题，一定会引以为戒。好了，你睡觉吧，我走了。”焦甄说完，不等丁驰回复，转身便走。　　丁